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真空管道的安装与日常保养至关重要，正确的安装方法和维护措施可以有效延长系统的使用寿命，确保真空系统的稳定性和效率。以下是相关步骤和注意事项：安装方法：规划与设计在安装前，首先应根据工艺需求设计合理的管路布局，考虑到气体流动、管道长度和连接点的数量。管道应尽量简洁，避免不必要的弯曲，以减少压降和气体残留。同时，选择适当的管道材料，确保其耐腐蚀性和气密性符合使用要求。管路清洁在安装前，对所有管道和组件进行彻底清洗，去除表面的灰尘、油脂和其他污染物，确保管道内部干净无残留物，以避免影响真空度。常用清洗方法包括超声波清洗、酒精擦拭和真空烘烤。焊接与接头连接使用高质量的焊接技术（如TIG焊接）连接管路，确保焊缝光滑且无气孔，以避免泄漏。管道接头应选择质量可靠的法兰或卡套接头，密封材料（如O型圈或垫片）要符合真空应用标准，特别是在超高真空系统中，推荐使用金属垫圈进行密封。泄漏测试安装后，进行全面的泄漏检测。常见的测试方法包括氦质谱检漏仪，用于检测管路系统中的微小泄漏，确保系统气密性达到要求。真空阀门和隔离设备的安装安装真空阀门、泵和压力传感器，以便在不同区域之间隔离真空，并有效调控系统压力。确保所...